MEMS薄膜泊松比在线提取方法研究

• 作者: 李伟华 聂萌 黄庆安
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 在线测量 两端固支梁 等效弹性模量 精度
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 379-381
• 页数: 3页
• 分类号: TN401|TN402
• 字数: 1925字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.134

摘要

提出了一种新的泊松比在线测量方法,在用两端固支梁静电吸合模型提取薄膜等效弹性模量的基础上,根据薄膜的等效弹性模量、杨氏模量、泊松比之间的关系提取薄膜的泊松比.在确定的工艺条件下,选择多组尺寸的测试结构用Coventor Ware软件计算吸合电压值,分析不同梁长对提取等效弹性模量精度的影响,表明选择合适的梁长可得到具有较高精度的泊松比.