MEMS薄膜等效应力梯度在线提取方法的研究

• 作者: 戎华 王鸣
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 吸合电压 等效应力梯度 模拟
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳米材料及特性
• 页码范围: 367-369
• 页数: 3页
• 分类号: TN401
• 字数: 2417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.129

摘要

提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的等效应力梯度的方法,实际模拟表明该方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中的在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣		91	636	14.0	20.0
2	戎华		15	73	5.0	8.0