AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

• 作者: 唐恒敬 朱耀明 李天信 李永富 李淘 李雪 殷豪 龚海梅
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电容显微镜(SCM) 激光束诱导电流(LBIC) 光生载流子扩散 保护环 InP/InGaAs
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 401-405
• 分类号: TN2
• 字数: 1036字
• 语种: 中文

摘要

为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流(LBIC)技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7～12μm之间.