用激光微细加工制作平面型InGaAs/InP PIN 光探测器

• 作者: 叶玉堂 吴云峰 廖云 张雪琴 焦世龙
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 激光微细加工 单片集成光接收机 PIN 光探测器 激光诱导扩散
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TN21
• 字数: 2015字
• 语种: 中文

摘要

采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器,在制作过程中,用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p-区掺杂.制作出平面型顶部入射的InGaAs/InP PIN 光探测器,响应度为0.21 A/W.分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素,因此提出了扩散温度自动控制、扩散区温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖云	电子科技大学光电信息学院	19	162	7.0	12.0
2	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
3	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
4	焦世龙	电子科技大学光电信息学院	16	90	6.0	8.0
5	张雪琴	电子科技大学光电信息学院	6	22	3.0	4.0