一种X光多层膜的设计方法

• 作者: 喻华 宋利民
• 来源期刊: 实验室科学
• 学科: 物理学
• 关键词: X射线 多层镜 反射率 程序设计
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 42-44
• 分类号: O4-34
• 字数: 2142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4305.2010.02.016

摘要

为了解决X光多层膜理论设计与实际镀膜反射率不一致的问题,基于物理学关于X光在多层膜界面散射的最新理论,提出一种数学模型,编制了软X光多层膜的设计程序.在考虑界面粗糙度、膜层配比、膜层周期多个实际参数条件影响下,多层膜反射率与入射X光波长的关系曲线.其设计结果与传统的设计方法相比,不但理论先进,能够给出最件结构参数的设计结果,而且能够给出膜厚误差、配比误差对反射率的影响,同时考虑了多层膜的所有参数,使反射率设计结果更接近于实际镀膜结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	喻华	辽宁师范大学计算机与信息技术学院	11	27	3.0	5.0
2	宋利民	大连海事大学信息工程学院	12	53	4.0	7.0