氧在阻氢薄膜TiCx中的行为研究

• 作者: 姜辉
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: TiCx薄膜 氧 XPS
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 144-146,156
• 分类号: O484.4
• 字数: 3074字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2010.04.042

摘要

采用磁控溅射和离子束混合技术制备不同C/Ti含量比的TiCx阻氢薄膜,并利用XPS测试手段分析氧在薄膜中的分布及存在方式,进而分析C/Ti含量比和H+辐照对氧行为的影响,以期求得在不影响TiCx薄膜阻氢性能的基础上有效降低薄膜中氧含量的途径,提高薄膜的抗氧化性能,延长薄膜的有效寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜辉	江苏盐城师范学院物理科学与电子技术学院	3	0	0.0	0.0