激光技术在半导体行业中的应用

• 作者: 刘晓伟 杨洪星 武永超 赵权 陈亚楠
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光 激光打标 激光测试 脉冲退火技术
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.5
• 字数: 2735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.02.003

摘要

激光技术自诞生以来,受到了广泛地关注,并逐步拓展了其应用领域.对激光技术在晶片/芯片加工领域的应用、激光打标技术、激光测试技术以及激光脉冲退火技术(LSA)进行简要的介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵权	中国电子科技集团公司第四十六研究所	30	136	6.0	9.0
2	陈亚楠	中国电子科技集团公司第四十六研究所	14	30	3.0	4.0
3	杨洪星	中国电子科技集团公司第四十六研究所	50	145	6.0	8.0
4	武永超	中国电子科技集团公司第四十六研究所	7	28	4.0	5.0
5	刘晓伟	中国电子科技集团公司第四十六研究所	5	16	2.0	3.0