离子束增强沉积Ti-Mo多层膜和TiMo合金膜及其性能

• 作者: 刘道新 唐长斌 张卿 张晓化 李凡巧
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-Mo多层膜 TiMo合金膜 硬度 磨损 腐蚀磨损
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 15-21
• 分类号: TG115
• 字数: 4618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.04.004

摘要

采用离子束增强磁控溅射沉积技术制备了Ti-Mo金属多层膜和TiMo合金膜,评价了膜层的结合强度、韧性、硬度等力学性能和摩擦学性能.结果表明:不同调制周期及不同调制比的Ti-Mo多层膜的硬度均比Ti、Mo金属单层膜的硬度高,调制周期小于200 nm的多层膜呈现出明显的超硬度现象,调制周期为20 nm的多层膜硬度达到最大值,多层膜硬度随Ti膜:Mo膜调制比的减小而提高.Mo过渡层比Ti过渡层更能有效改善膜层的结合强度,离子辅助轰击能明显提高膜层的结合力.TiMo合金膜的硬度与Mo金属单层膜相近,明显低于调制周期20～200 nm的Ti-Mo多层膜,其韧性也明显低于调制周期60 nm以上的Ti-Mo多层膜.调制周期20～200 nm的Ti-Mo多层膜的耐磨性能优于TiMo合金膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘道新	西北工业大学腐蚀与防护研究室	120	1516	22.0	31.0
2	张晓化	西北工业大学腐蚀与防护研究室	41	308	12.0	15.0
3	唐长斌	西北工业大学腐蚀与防护研究室	20	198	9.0	13.0
7	张卿	西北工业大学腐蚀与防护研究室	4	2	1.0	1.0
8	李凡巧	西北工业大学腐蚀与防护研究室	2	5	1.0	2.0