一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法

• 作者: 刘剑霜 李伙全 陈一
• 来源期刊: 扬州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体芯片 微纳几何结构 高分辨率透射电子显微镜 内标法
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 50-53
• 分类号: TN307
• 字数: 2415字
• 语种: 中文

摘要

提出一种利用高分辨率透射电子显微镜(high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM)对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样的影响、测量设备放大倍率的校验、样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用.该方法对半导体工业中HRTEM的应用有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伙全	扬州大学物理科学与技术学院	11	23	2.0	4.0
2	刘剑霜	扬州大学物理科学与技术学院	8	19	1.0	4.0
3	陈一	复旦大学材料科学系	41	357	9.0	17.0