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一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法
一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法
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摘要：
提出一种利用高分辨率透射电子显微镜(high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM)对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样的影响、测量设备放大倍率的校验、样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用.该方法对半导体工业中HRTEM的应用有一定的指导意义.
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文献信息
| 篇名 | 一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法 | ||
| 来源期刊 | 扬州大学学报（自然科学版） | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 半导体芯片 微纳几何结构 高分辨率透射电子显微镜 内标法 | ||
| 年，卷（期） | 2010,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 50-53 | |
| 页数 | 分类号 | TN307 | |
| 字数 | 2415字 | 语种 | 中文 |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
半导体芯片
微纳几何结构
高分辨率透射电子显微镜
内标法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
扬州大学学报(自然科学版)
主办单位：
扬州大学
出版周期：
季刊
ISSN：
1007-824X
CN：
32-1472/N
开本：
大16开
出版地：
江苏省扬州市大学南路88号
邮发代号：
28-48
创刊时间：
1974
语种：
chi
出版文献量（篇）
1577
总下载数（次）
2
总被引数（次）
8111
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