多线切割机对硬脆材料加工的发展方向

• 作者: 王广峰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高频震动 游离磨粒 固结磨粒 损伤层 粒度 刚性
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 31-33,40
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.01.007

摘要

介绍了内圆切割、游离磨料线切割、固结金刚石线切割三种加工类型,提出了未来硬脆材料加工新的发展方向.