直梁结构光栅光调制器的机电特性分析与实验

• 作者: 张智海 温志渝 金珠 黄尚廉
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光栅光调制器(GLM) 机电特性 驱动电压 弹性系数
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.5|TH703.8
• 字数: 3494字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.009

摘要

介绍了直梁光栅光调制器的结构和原理,建立了器件的机电模型.利用能量法和卡式第二定理分析并得到器件的弹性系数;通过静电力与机械回复力的平衡,得到器件的驱动电压.结合器件的实际参数值,计算得到器件的工作电压为10.71 V,吸合电压为11.46 V.实验测得器件的实际工作电压为10.5 V,吸合电压为12.2 V,实验结果与理论分析基本一致.在1 kHz脉冲电压的驱动下,器件响应的上升时间和下降时间分别为46.59 μs和44.77μs;器件的响应频率约为5 kHz.结果表明,加工的直梁光栅光调制器具有较低的驱动电压和较高的响应频率,能够满足微投影显示的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	143	1259	18.0	26.0
5	张智海	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	38	198	9.0	12.0
9	金珠	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	13	19	3.0	3.0