基于紫外-可见透过谱的薄膜厚度计算研究

• 作者: 孙辉 康建波 张海波 朱兴华 杨定宇
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外-可见透过谱 薄膜厚度 曲线拟合 程序设计
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 70-72,99
• 分类号: TN304
• 字数: 3764字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2010.06.019

摘要

测试和控制薄膜的厚度是制备高质量薄膜材料的重要步骤之一.本文根据光谱透过率波动曲线与薄膜厚度间的内在联系,基于曲线拟合方法设计开发了一款计算软件,该程序能读取测试光谱数据并自动计算出薄膜厚度和折射率,程序计算结果与台阶仪测试结果吻合较好,证明本文所开发的软件是正确有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱兴华	成都信息工程学院光电技术学院	32	98	6.0	7.0
2	杨定宇	成都信息工程学院光电技术学院	39	148	6.0	9.0
3	孙辉	成都信息工程学院光电技术学院	12	34	3.0	5.0
4	张海波	成都信息工程学院网络工程学院	5	15	3.0	3.0
5	康建波	成都信息工程学院光电技术学院	1	2	1.0	1.0