利用反射与透射光谱测量GaN外延层的光学参数

• 作者: 杜晓晴
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学特性 紫外光谱 吸收系数 反射率
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 76-79
• 页数: 4页
• 分类号: O433.1|TN304.2
• 字数: 2754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.01.018

摘要

GaN是一种理想的紫外发光和探测材料,其光学特性参数是光学器件设计的重要依据.采用紫外反射与透射光谱相结合的方法对国产GaN外延层进行光学特性测量,利用反射率与折射率之间的关系和薄膜干涉效应,建立了GaN外延层厚度、表面反射率、光谱吸收系数的光谱测量公式.测量结果表明,GaN外延层在紫外波段存在三个吸收区,其中364 nm以下波段为强吸收区,吸收系数接近105 cm-1,364～375 nm为吸收过渡区,375 nm以上波段为弱吸收区;GaN表面反射率在三个吸收区的变化不大,为0.2～0.25之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜晓晴	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	26	198	9.0	12.0