实时调节工作电压实现稳定准分子脉冲能量

• 作者: 余吟山 梁勖 游利兵 王涛
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子 能量稳定 闭环控制 实时检测
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 374-378
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103702.0374

摘要

介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统.它由能量检测、开关电源和控制器组成.其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在闸流管放电的强电磁干扰条件下实现了可靠的闭环控制.该系统实验于一重复频率5 Hz,采用火花预电离的KrF激光器.在气体状态好的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由4.71%降低至3.01%;在气体状态较差、放电电压较低的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由7.18%降低至3.62%,有效地提高了脉冲能量的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王涛	中国科学院等离子体物理研究所	392	8395	45.0	77.0
2	余吟山	中国科学院等离子体物理研究所	29	165	9.0	11.0
3	游利兵	中国科学院等离子体物理研究所	26	135	8.0	10.0
4	梁勖	中国科学院等离子体物理研究所	27	113	6.0	9.0