氢气作为还原气体用于LED共晶的可行性探讨

• 作者: 于正国 向德祥 李静静
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: LED共晶设备 氢气 爆炸极限
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 32-34,38
• 分类号: TN306
• 字数: 2550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2010.04.009

摘要

文章从大功率LED共晶设备出发,结合实际操作中所用焊接材料,对在共晶炉中充入氢气的可行性进行了探讨,详细计算了共晶炉内的氢气量及压力与爆炸极限的关系.结果表明,当氢气充入量为10ml、共晶炉内气压小于248.9Pa时,不论1W单颗LED亦或100W集成封装共晶,均可保证炉内所有焊片的氧化层得到充分还原,此时氢气占反应腔内总气体的浓度在75.6%以上,远离其爆炸极限临界值.随着氢气用量的增加,共晶炉内真空度要求随之下降,为生产厂家提供了方便.文章对氢气的排放做了简要介绍,并与其他共晶设备做了比较,对共晶设备的制造研发具有较高的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李静静		1	1	1.0	1.0
2	于正国		1	1	1.0	1.0
3	向德祥		1	1	1.0	1.0