超声换能器接触界面的非线性谐波

• 作者: 吴运新 李战慧 隆志力
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 工学
• 关键词: 非线性 接触界面 谐波 换能器
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 138-141
• 分类号: TN305
• 字数: 2868字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3835.2010.09.032

摘要

超声波在换能器中的非线性不仅引起劈刀振动的混乱而且导致芯片键合的失效,建立了超声波在接触界面传播的模型,并进行了数学仿真,最后在试验平台上采用多普勒测振仪测量了不同接触界面压力条件下的劈刀的振动波形,用剪切强度测试仪测试了键合强度.波形的畸变和高次谐波的产生是由于接触界面层的非线性引起的,为了保证键合强度应该将变幅杆和劈刀之间的拧紧力矩设定在一个合适的范围内,使接触界面层材料的二阶非线性系数最小.可以通过检测劈刀的高次谐波来反映超声键合的强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
2	隆志力	中南大学机电工程学院	34	285	10.0	16.0
3	李战慧	中南大学机电工程学院	9	60	5.0	7.0