电弧离子镀CrN薄膜的镀覆工艺研究

• 作者: 刘明明 刘述丽 张轲
• 来源期刊: 沈阳师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铬硬质薄膜 电弧离子镀 相结构 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 407-411
• 分类号: TG146.2
• 字数: 3069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5862.2010.03.024

摘要

随着氮分压增加,低分压时所产生的Cr和Cr2N的衍射峰减弱至消失,而CrN的衍射峰增强直至形成单相薄膜,薄膜表面的大颗粒密度、尺寸都减小,N2分压过大时薄膜表面的大颗粒又增加;随着脉冲偏压的施加,薄膜的表面变得均匀平整,大颗粒数量、尺寸明显减少,偏压过大时薄膜表面又有较大熔滴产生;抛光和喷砂均能降低薄膜表面大颗粒的形成.最后得到了电弧离子镀氮化铬涂层的最佳工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张轲	沈阳师范大学化学与生命科学学院	21	180	4.0	13.0
2	刘明明	沈阳师范大学化学与生命科学学院	7	114	3.0	7.0
3	刘述丽	沈阳师范大学化学与生命科学学院	3	108	2.0	3.0