平面反射镜光学薄膜的制备

• 作者: 刘军成 王保松 陈静
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 平面反射镜 光学薄膜 反射率
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 22-24
• 分类号: TB43
• 字数: 2375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2010.06.007

摘要

以薄膜原理为基础,通过Essential Macleod软件进行膜系设计.采用电子束加热蒸发的镀膜方式,利用设计工装制备了介质ZrO2-SiO2高反射膜层和金属铝反射膜层.介质高反膜层在1.064 μm波长处的反射率达到95%,金属铝反射膜层的在3 μm～5 μm波段内的平均反射率超过95%.膜层的技术指标和环境适应性能具有优质的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王保松		8	13	2.0	3.0
2	刘军成		1	1	1.0	1.0
3	陈静		1	1	1.0	1.0