可钢化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4玻璃涂层的制备和性能表征

• 作者: 杨瑞 董发勤 解忠雷 许春凤 邓跃全 高春森
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 可钢化 TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4膜 微观结构 物理性能
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 476-479
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.682

摘要

采用磁控溅射法制备了可铜化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4复合玻璃涂层（TSCANZSLow-E玻璃），并对其微观结构和物理性能进行了测试。AFM分析发现，薄膜表面光滑平整，粗糙度Ra为0．323nm；XPS探测到膜层表面存在TiO2和Si3N4；四探针面电阻测试仪测定薄膜方阻Ra为8．81Ω/□，比辐射率值为0．108；光学性能分析显示可见光透过率达81％，在2500nm处的中远红外区反射率达80％；剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间具有良好的附着性；钢化测试结果符合国标要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董发勤	西南科技大学材料科学与工程学院	295	2442	24.0	33.0
2	邓跃全	西南科技大学材料科学与工程学院	89	440	12.0	15.0
3	杨瑞	西南科技大学材料科学与工程学院	9	61	5.0	7.0
4	解忠雷	西南科技大学材料科学与工程学院	10	23	2.0	4.0
5	许春凤	西南科技大学材料科学与工程学院	9	32	3.0	5.0
6	高春森	西南科技大学材料科学与工程学院	4	0	0.0	0.0