掺铝氧化锌薄膜的结构与刻蚀性能

• 作者: 徐淑华 洪瑞江
• 来源期刊: 华南理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 太阳电池 薄膜 结构 刻蚀性能
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 151-156
• 分类号: TN304.22
• 字数: 3373字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-565X.2010.06.028

摘要

利用中频反应磁控溅射技术,以Zn/Al(质量比98: 2)合金靶为靶材,制备了综合性能优良的铝掺杂氧化锌(ZnO:Al,AZO)透明导电薄膜.探讨了沉积工艺对薄膜结构、电学及光学性能的影响,分析了 AZO薄膜的刻蚀性能以及所制备的绒面结构特性.结果表明:基体温度对薄膜生长有较大的影响;采用适当的沉积温度,薄膜具有较好的晶化率,晶粒呈明显的柱状生长,晶界间结合紧密,薄膜的电阻率为4.600×10-4 Ω·cm;镀膜时基体的移动速度影响薄膜的晶体生长方式,但对其沉积效率影响不大;具有择优生长特性、形成柱状晶组织的薄膜经稀盐酸腐蚀后,其表面呈规则的粗糙形貌,此结构有利于充分捕集太阳光,从而提高薄膜太阳电池的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	洪瑞江	中山大学太阳能系统研究所	11	69	5.0	8.0
2	徐淑华	华南理工大学理学院	10	106	5.0	10.0