X射线螺旋波带片制备技术

• 作者: 朱效立 李海亮 谢常青 高南
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 螺旋波带片 电子束光刻 X射线光刻 X射线成像
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 730-733
• 页数: 4页
• 分类号: TN205
• 字数: 1963字
• 语种: 中文

摘要

本文将电子束曝光和X射线曝光技术相结合以制造X射线波段螺旋波带片.用电了束曝光和微电镀技术在镂空薄膜上制备母波带片X射线掩模版,用X射线曝光和微电镀技术小批量复制螺旋波带片.研制成可用于1.24 nm波长的螺旋波带片,其最外环宽度为200 nm,金吸收体厚度为700 nm,占空比合理,侧壁陡直,结构优良.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢常青	中国科学院微电子研究所	50	258	9.0	12.0
2	李海亮	中国科学院微电子研究所	5	24	3.0	4.0
3	朱效立	中国科学院微电子研究所	19	86	6.0	8.0
4	高南	中国科学院微电子研究所	5	18	3.0	4.0