ZnO纳米针阵列合成及台阶动力学生长机理研究

• 作者: 刘忠华 唐斌 张强 税正伟 谌贵辉 邓宏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO纳米针阵列 化学气相沉积 台阶动力学 奇异面
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1485-1489
• 分类号: TN304
• 字数: 2408字
• 语种: 中文

摘要

采用化学气相沉积系统,不用催化剂,生长过程中采用变温技术,在Si基片上合成了ZnO纳米针阵列.扫描电子显微图(SEM)显示ZnO纳米针阵列整齐密集生长在基片上,其棒状部分粗细均匀,直径约100 nm.透射电子显微照片(TEM)显示ZnO纳米针尖端呈现一系列的台阶.X射线衍射(XRD)图谱上只存在ZnO的(002)衍射峰,说明ZnO纳米针沿c轴择优取向.运用台阶动力学和奇异面生长理论分析表明ZnO纳米棒是典型的奇异面上单二维成核法向层生长机制.当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts大于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端形成针尖;当单圈圆台阶扫过整个晶面的时间ts小于或等于奇异面法向生长一个台阶高度所用时间tn时,在纳米棒顶端不能形成针尖.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐斌	西南石油大学理学院	30	133	6.0	10.0
2	邓宏	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	72	653	14.0	22.0
3	税正伟	西南石油大学理学院	21	84	5.0	8.0
4	张强	西南石油大学理学院	53	121	6.0	8.0
5	刘忠华	西南石油大学理学院	9	28	3.0	5.0
6	谌贵辉	西南石油大学电气信息学院	44	141	7.0	8.0