在金属薄膜衬底上定向生长碳纳米管

• 作者: 戴玮 朱宁
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 预处理 温度 等离子体增强化学气相沉积 定向生长
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1030-1033
• 分类号: TP211.51
• 字数: 2384字
• 语种: 中文

摘要

研究和探讨了预处理和温度影响对碳纳米管定向生长机制的作用.利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以金属Fe薄膜为催化剂,在单晶硅衬底上定向生长碳纳米管(CNT).通过给予不同的预处理时间和温度条件,在Fe/Si衬底上沉积出碳纳米管,通过扫描电子显微镜(SEM)进行表征,将不同的条件下生长的碳纳米管进行对比.结果表明,在适当的工艺条件下,可以生长出方向性好,纯度高的碳纳米管.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴玮		1	0	0.0	0.0
2	朱宁		1	0	0.0	0.0