微尺度薄膜热容测试技术

• 作者: 余隽 吕安新
• 来源期刊: 中国科技成果
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳器件 薄膜 热容测试 双层悬臂梁量热计
• 年，卷（期）: 2010,（20）
• 页码范围: 23-24,27
• 分类号: TB3
• 字数: 3788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1009-5659.2010.20.014

摘要

微纳米薄膜材料广泛应用于微纳器件中,因此微尺度薄膜热容测试技术对于微纳器件热设计十分重要.本文介绍了一种新型的用于薄膜热容测试的自对准双层悬空膜片结构--双层悬臂梁量热计,它主要应用于薄膜材料热容测量和微结构中的近场热辐射研究.同时介绍了双层悬臂梁量热计用于薄膜热容测试的几种测试方法,包括差式扫描量热法、热延迟时间法、脉冲量热法等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院	37	252	7.0	14.0
2	吕安新	大连理工大学电子科学与技术学院	2	5	1.0	2.0