基于机器视觉的光学元件表面洁净度检测仪研制

• 作者: 刘琴 楚红雨 米增真 谢志江 邵延华
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件 洁净度检测 线阵CCD 机器视觉
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 17-20
• 分类号: TP399|TH89
• 语种: 中文

摘要

针对SG-Ⅲ精密光学元件表面洁净度检测特点,提出了基于机器视觉的检测方案.设计了三维电控平台和夹持架,选用步进电机和光栅尺实现闭环高精度控制,采用线阵CCD作为图像采集设备,选用卤素灯作为光源,利用图像处理技术得到污染物的特征参数.对340mm*340mm的光学元件测试表明,检测仪能在11分钟内完成单面扫描和分析,识别15μm以上的污染物,大大提高了检测效率.该技术可应用于多种精密表面检测项目.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢志江	重庆大学机械传动国家重点实验室	159	1375	19.0	29.0
2	楚红雨	重庆大学机械传动国家重点实验室	28	110	6.0	8.0
4	邵延华	西南科技大学信息工程学院	21	74	5.0	7.0
5	刘琴	重庆大学机械传动国家重点实验室	10	48	4.0	6.0
8	米增真	重庆大学机械传动国家重点实验室	1	10	1.0	1.0