均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用

• 作者: 万永东 何为 何波 张敏 王守绪 薛卫东 陈兆霞 陈浪
• 来源期刊: 实验科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 均匀设计 回归分析 等离子体 去钻污
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术
• 页码范围: 39-42
• 分类号: O212.2|TN41|O539
• 字数: 2626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4550.2010.02.014

摘要

运用实验设计方法对等离子清洗挠性印制线路板去钻污工艺参数进行了优化.结果表明,用均匀设计法进行试验,仅需试验12次便可获得实验结果,通过非回归分析即可得到凹蚀量y(μm)与CF4含量、射频功率、真空度、温度、时间等因素的回归方程.其方程具有很好的拟合度,并取得了良好的清洗效果,为后续工序得到合格的金属化孔提供了保证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何为	电子科技大学微电子与固体电子学院	200	994	12.0	23.0
2	何波	珠海元盛电子科技股份有限公司技术中心	35	217	8.0	13.0
3	王守绪	电子科技大学微电子与固体电子学院	82	454	10.0	18.0
4	陈浪	珠海元盛电子科技股份有限公司技术中心	13	31	3.0	5.0
5	张敏	电子科技大学微电子与固体电子学院	40	184	7.0	11.0
6	薛卫东	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	150	8.0	11.0
7	陈兆霞	电子科技大学微电子与固体电子学院	1	3	1.0	1.0