基于隧道效应的MEMS陀螺仪的研究

• 作者: 刘俊 张琼 石云波 罗源源
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺仪 设计 加工 隧道电流检测
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 750-753
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2953字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2010.05.012

摘要

提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构,分析了其结构及工作原理;对陀螺进行了必要的仿真,仿真结果与理论推导相接近,这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合.采用体硅工艺设计了陀螺仪版图,并对其进行流片加工.加工完成后,采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并验证了其测试结果;同时,对结构进行失效分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
5	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
9	罗源源	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	7	2.0	2.0
10	张琼	中北大学电子测试技术国家重点实验室	7	11	2.0	3.0