PC光学树脂计量圆光栅的制作

• 作者: 李艳茹 王力锋 陈赟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 聚碳酸酯 基片 计量圆光栅 光栅复制
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1788-1792
• 分类号: TP212.12|TN305
• 字数: 3125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101808.1788

摘要

为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法.分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3 Pa,蒸发距离为150 mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅.在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈赟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	585	12.0	23.0
2	李艳茹	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	73	5.0	8.0
3	王力锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	24	3.0	3.0