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X-ray Reflectivity Evaluation for the Density of Au Thin Film Deposited on Silicon
X-ray Reflectivity Evaluation for the Density of Au Thin Film Deposited on Silicon
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | X-ray Reflectivity Evaluation for the Density of Au Thin Film Deposited on Silicon | ||
| 来源期刊 | 中国原子能科学研究院年报：英文版 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 极低密度 Au薄膜 X射线 评价 反射 沉积 硅 金薄膜 | ||
| 年，卷（期） | zgyznkxyjynbywb_2010,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 195-196 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | O434.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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极低密度
Au薄膜
X射线
评价
反射
沉积
硅
金薄膜
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中国原子能科学研究院年报：英文版
主办单位：
原子能出版社
出版周期：
年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市海淀区阜成路43号
邮发代号：
创刊时间：
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