溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能

• 作者: 翟继卫 高丽娜
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 锆钛酸锶钡 梯度薄膜 介电性能 温度稳定性 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 2268-2274
• 页数: 7页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3(BSZT)(x=0～0.40)组分及其成分梯度薄膜,研究各组分及梯度薄膜的相结构、显微结构及其介电性能.结果表明:随着Zr含量的增加,组分BSZT薄膜的相对介电常数(εr)和介电损耗(tanδ)降低,Curie温度向低温方向移动.与单相薄膜相比,成分梯度薄膜同时具有适中的相对介电常数(150εr300),低的介电损耗(tanδ0.014).高的材料优值(30)及良好的温度稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翟继卫	同济大学功能材料研究所	35	241	9.0	13.0
2	高丽娜	同济大学功能材料研究所	2	22	2.0	2.0