相移点衍射干涉仪的高精度对准

• 作者: 刘克 李艳秋
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学测量 光刻 移相干涉术 点衍射干涉仪 计算机辅助装调
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1845-1849
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103707.1845

摘要

相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进行干涉仪的高精度对准是必要的.在PS/PDI空间频域特性分析的基础上,开发了一套高灵敏度的计算机辅助装调方法来实现干涉仪的对准.在粗装调阶段,对光电传感器采集的光场分布进行离散傅里叶变换,利用频谱图中的信息调整PS/PDI在精密装调阶段,采用干涉条纹的频域对比度作为评价函数,以得到对比度的最大值为目标微调干涉仪.装调实验结果表明,对于可见光波段PS/PDI中直径为1.5μm的针孔,可以达到优于0.1μm的重复对准精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋		57	202	7.0	13.0
2	刘克		15	6	1.0	2.0