多电极静电拉伸薄膜反射镜的光学检测

• 作者: 张元 张鹏 金光 钟兴
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 多电极 静电拉伸 薄膜反射镜 Hartmann光栏法
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 282-286
• 分类号: TN206|O484.4
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2011.02.019

摘要

利用研制的φ300 mm口径多电极薄膜反射镜原理样机,开展了光学检测实验工作.利用高斯光学原理对薄膜反射镜的基本光学参数进行了检测,获得了随电压变化的薄膜反射镜曲率丰径和最大变形值曲线,趋势与理论计算结果一致.对薄膜反射镜的面形特性和面形检测方法进行了分析,采用激光干涉仪测试了无电压时中心区域的平面面形,RMS值为1.03λ(λ＝632.8nm).为检验薄膜反射镜的曲面面形,搭建了Hartmann光栏法测试光路并结合Zernike 多项式拟合处理方法,对使用非均布电压优化前后的曲面的低频面形进行了测试,面形误差RMS值从24.1μm减小为14.7μm,证明相对于单电极方案,多电极非均压时静电拉伸薄膜反射镜的面形有明显的优化作用.本文使用的检测方法和结论可为相关领域的研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟兴	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	215	6.0	14.0
2	金光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	202	2450	24.0	39.0
3	张鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	220	1605	21.0	32.0
7	张元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	79	6.0	8.0