薄膜表面和界面应力的X射线衍射分析(下)

• 作者: 王宁 王超群
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 表面 界面 X-射线应力分析
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 267-270
• 分类号: O484.41
• 字数: 1825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2011.04.012

摘要

薄膜表面和界面应力的测量是近年来的热点课题,原则上,薄膜与体材的应力分析方法并无差别,可以通过X射线衍射进行测量.本文以有关薄膜和表面区X射线应力分析的专题评述为蓝本,解读有关依赖于试样和测量条件的分析方法和测量策略.为此,将推荐若干实用的测试方法:对于无织构和宏观弹性各向同性薄膜试样,可采用掠入射多衍射线的薄膜应力分析方法,在这种情况下,当用小入射角时,常规的sin2ψ法可以使用；对于(hhh)和(h00)的应变测量,具有准各向同性的优点,可以直接采用sin2ψ法；对于有织构试样,材料呈宏观弹性各向异性,可采用晶体群方法.这些方法对于薄膜、多层膜、硬质涂层或体材近表面区的应力分析,具有十分重要的理论价值和使用意义,也可用于新型电子薄膜材料等的应力分析,为其性能改善和控制提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超群		31	130	6.0	9.0
2	王宁		10	35	4.0	5.0