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硅片垫研磨的隐式和显式有限元仿真
硅片垫研磨的隐式和显式有限元仿真
作者:
A.H.Zhao
X.J. Xin
Z.J. Pei
李玉生(译)
贺献宝(译)
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
有限元仿真
显式方法
隐式
研磨
硅片
平面磨削
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篇名
硅片垫研磨的隐式和显式有限元仿真
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磨料磨具通讯
学科
工学
关键词
有限元仿真
显式方法
隐式
研磨
硅片
平面磨削
波纹加工
仿真方法
年,卷(期)
2011,(3)
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12-15
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TP212
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全国磨料磨具行业情报网
郑州磨料磨具削研究所
中国机床工具工业协会超硬材料分会
中国机床工具工业协会磨料磨具分会
中国机床工具工业协会涂附磨具分会
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
河南省郑州市华山路121号
邮发代号:
创刊时间:
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