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基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征
基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征
作者:
傅星
徐临燕
胡小唐
赵健
郭彤
陈津平
马龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机电系统(MEMS)
白光相移干涉
Carré相移算法
标准台阶
摘要:
将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应用于白光干涉信号的相位提取的精度,对不同扫描步距以及不同信噪比情况下的测量进行了计算机仿真,确定了测量参数.结合重心法将相位计算的数据范围直接定位于干涉信号的零级条纹,从而省去了相位解包裹过程.通过对微谐振器和标准台阶的测量说明了该方法的有效性,并使用白光相移干涉、白光垂直扫描和单色光相移干涉对44 nm标准台阶进行了测量,并对测量结果进行了比较.
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表面形貌
粗糙度
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白光干涉
发射机
直流驱动
接收机
高频响应
基于波长颜色映射关系的白光干涉及衍射图样仿真
物理光学
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(/年)
文献信息
篇名
基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征
来源期刊
纳米技术与精密工程
学科
工学
关键词
微机电系统(MEMS)
白光相移干涉
Carré相移算法
标准台阶
年,卷(期)
2011,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
39-43
页数
分类号
TH741.4
字数
3204字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2011.01.008
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
胡小唐
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
205
1913
21.0
33.0
2
傅星
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
107
753
14.0
20.0
3
郭彤
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
46
370
11.0
17.0
4
陈津平
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
30
267
10.0
15.0
5
徐临燕
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
15
103
7.0
9.0
6
马龙
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
4
16
2.0
4.0
7
赵健
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
22
71
6.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(8)
共引文献
(11)
参考文献
(9)
节点文献
引证文献
(11)
同被引文献
(16)
二级引证文献
(7)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
1990(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
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1995(2)
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1997(1)
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2011(3)
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白光相移干涉
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标准台阶
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
纳米技术与精密工程(英文)
主办单位:
天津大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
季刊
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
开本:
出版地:
天津市南开区卫津路92号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
eng
出版文献量(篇)
1315
总下载数(次)
2
总被引数(次)
8103
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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纳米技术与精密工程(英文)2011年第4期
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纳米技术与精密工程(英文)2011年第1期
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