基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测

• 作者: 傅贵武 王宇华 申路
• 来源期刊: 佛山科学技术学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 微齿轮 几何特征检测
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 机电与自动化
• 页码范围: 58-61
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1304字
• 语种: 中文

摘要

将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸.研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇华	佛山科学技术学院机电工程系	60	187	8.0	12.0
2	傅贵武	佛山科学技术学院机电工程系	25	46	3.0	6.0
3	申路	佛山科学技术学院机电工程系	2	2	1.0	1.0