基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计

• 作者: 刘显学 周浩 唐海林 苏伟
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 最优化 稳健设计 灵敏度分析
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 微光机电与物理电子技术
• 页码范围: 224-228
• 分类号: TN47|TP212.1
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2011.02.020

摘要

提出了基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化模型,开发了相应的稳健设计流程.以往的研究是将设计变量中的不确定量考虑为统计容差,与之不同的是,该设计采用最坏情况客差分析,优化算法使用遗传算法,采用键合-离子反应深刻蚀加工器件.灵敏度分析结果表明稳健设计结果对误差是不敏感的.同时进行了蒙特卡洛分析,结果表明有88.35%的样本是可接受的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	唐海林	中国工程物理研究院电子工程研究所	16	76	5.0	8.0
3	周浩	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	18	3.0	3.0
7	刘显学	中国工程物理研究院电子工程研究所	11	38	4.0	5.0