CVD金刚石膜高速机械研磨温度场的有限元模拟

• 作者: 周丽 王新玲 许立福 黄树涛
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 温度场 机械研磨 有限元法
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 20-24
• 分类号: TG58
• 字数: 2562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.05.005

摘要

CVD金刚石膜的高速机械研磨是一种高效的研磨方法,研磨区域的温度场分布直接影响金刚石膜的研磨质量.本文采用三维热-力耦合有限元法对三种不同运动条件下的温度场进行分析.结果表明:在不同的运动条件下,金刚石膜表面的温度场呈不均匀分布.当金刚石膜与砂轮作同向运动时,整个金刚石膜的温度差最小.文中得出的结论可以为提高工件表面平整性提供理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周丽	沈阳理工大学机械工程学院	62	335	10.0	15.0
2	许立福	沈阳理工大学机械工程学院	68	220	9.0	11.0
3	黄树涛	沈阳理工大学机械工程学院	110	475	12.0	15.0
4	王新玲	沈阳理工大学机械工程学院	1	4	1.0	1.0