金刚石膜超高速抛光温度场的有限元模拟

• 作者: 周丽 焦可如 许立福 黄树涛
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 抛光 温度场 热-力耦合
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 152-158
• 页数: 7页
• 分类号: O786
• 字数: 3250字
• 语种: 中文

摘要

金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量.本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场.结果表明:随着金刚石膜直径的增大,其内、外边缘温度差明显增大.只有当金刚石膜与抛光盘作同向相对运动时,金刚石膜的内、外边缘温度才趋于均匀.文中得出的结论可以为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作提供可靠的理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周丽	沈阳理工大学机械工程学院	62	335	10.0	15.0
2	许立福	沈阳理工大学机械工程学院	68	220	9.0	11.0
3	黄树涛	沈阳理工大学机械工程学院	110	475	12.0	15.0
4	焦可如	沈阳理工大学机械工程学院	15	70	5.0	8.0