金刚石线锯切割晶体硅模式研究

• 作者: 周浪 汤斌兵 蔡二辉
• 来源期刊: 南昌大学学报（工科版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硅 切割 金刚石线锯
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 信息工程与数理科学
• 页码范围: 194-199
• 分类号: TN305.1
• 字数: 3479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0456.2011.02.019

摘要

通过单颗金刚石刻划晶体硅实验和金刚石线锯切割晶体硅片表面形貌观察,分析研究了金刚石线锯切割晶体硅的模式.结果表明:在较大正压力下刻划时,金刚石主要以脆性模式切割晶体硅,划痕呈破碎崩坑状,在单颗金刚石刻划实验条件下可看到脆性解理条纹;而在较小的压力下,金刚石主要以塑性模式切割晶体硅,划痕相对平直光滑;金刚石线锯切割晶体硅片时,硅片表面呈现大量由脆性断裂留下的不规则凹坑和较长的光滑划痕,显示出以脆性模式与塑性模式混合切割模式.分析其原因可能是由于切割过程中线锯正下方对晶体硅的压力较大,以脆性模式进行多颗粒反复刻划;而与此同时,线锯侧面金刚石颗粒以小得多侧向压力对切割暴露出的硅表面进行蹭磨刻划,因此产生塑性模式刻划.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周浪	南昌大学太阳能光伏学院	110	1018	16.0	26.0
2	蔡二辉	南昌大学太阳能光伏学院	2	26	2.0	2.0
3	汤斌兵	南昌大学太阳能光伏学院	7	34	3.0	5.0