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一种消除AFM中悬臂梁横向扭转串扰误差的修正技术
一种消除AFM中悬臂梁横向扭转串扰误差的修正技术
作者:
周法权
李宁
王飞
赵学增
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
串扰效应
原子力显微镜(AFM)
横向扫描
测量误差
悬臂梁
摘要:
串扰效应始终存在于原子力显微镜(AFM)的测量过程中,并影响其测量精度.在对串扰效应的产生机理进行分析,并建立了悬臂梁形变与光斑位置检测器(PSPD)输出信号之间的数学关系的基础上,提出了一种可消除横向扭转串扰影响的修正方法.在该方法中AFM系统可由输出信号直接获得悬臂梁的实际形变量,进而获得原子间作用力的实际值,并通过保持作用力的恒定对样品进行测量.该方法可有效地将悬臂梁扭转导致的纵向信号的变化从系统测得的纵向信号中剔除出去.仿真结果表明,在恒力接触模式下,串扰效应严重影响测量结果,导致测量误差,且针尖.样品夹角导致的串扰效应比摩擦力导致的串扰效应更严重.为验证本文方法消除串扰效应的效果,在应用该修正方法前后分别对标准梯形样品进行测量.实验对比结果表明,在普通恒力接触模式下的样品表面最大测量误差范围为21.2 nm~32.0 nm;对串扰效应进行修正后,最大测量误差范围降低至5.5 nm~10.2 nm.这表明该方法可有效降低AFM中串扰效应导致的测量误差,提高其测量精度.
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内容分析
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相关文献总数
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(/年)
文献信息
篇名
一种消除AFM中悬臂梁横向扭转串扰误差的修正技术
来源期刊
纳米技术与精密工程
学科
工学
关键词
串扰效应
原子力显微镜(AFM)
横向扫描
测量误差
悬臂梁
年,卷(期)
2011,(2)
所属期刊栏目
微机电系统
研究方向
页码范围
121-126
页数
分类号
TB921
字数
3201字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2011.02.006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李宁
哈尔滨工业大学机电工程学院
286
2937
25.0
36.0
3
赵学增
哈尔滨工业大学机电工程学院
133
1496
19.0
30.0
4
王飞
哈尔滨工业大学机电工程学院
47
225
7.0
12.0
7
周法权
哈尔滨工业大学机电工程学院
5
13
2.0
3.0
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2017(2)
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2018(2)
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二级引证文献(1)
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引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
串扰效应
原子力显微镜(AFM)
横向扫描
测量误差
悬臂梁
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
纳米技术与精密工程(英文)
主办单位:
天津大学
中国微米纳米技术学会
出版周期:
季刊
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
开本:
出版地:
天津市南开区卫津路92号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
eng
出版文献量(篇)
1315
总下载数(次)
2
总被引数(次)
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