石英晶体谐振器的应力变化及力敏特性的关系

• 作者: 周红云 孙有彬 田文杰
• 来源期刊: 北京信息科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 石英晶体谐振器 应力变化 力敏特性
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 专题·传感器技术
• 页码范围: 12-16
• 分类号: O765|TM 22+9.1
• 字数: 2558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6864.2011.06.003

摘要

将半无限各向异性介质薄片在受集中力时介质内应力的分布结果,延推到薄圆形石英晶体谐振器,得到谐振器在受径向集中力作用时,其频率的相对变化与加力方位角及加力强度的关系,并与电极置于几何中心时谐振器的相对频率变化进行比对.用有限元方法对薄圆形石英晶片受径向力作用时不同位置的应力变化进行了分析,并在相应位置蒸镀电极,以形成谐振器,测试了不同位置谐振器的力频敏感特性,结果表明,理论计算及分析值与实验结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田文杰	北京信息科技大学传感器重点实验室	37	158	6.0	11.0
2	孙有彬	北京信息科技大学传感器重点实验室	2	3	1.0	1.0
3	周红云	北京信息科技大学传感器重点实验室	3	4	1.0	2.0