微传感器表面温度非接触测试及In2O3微传感器气敏特性的研究

• 作者: 丛慧 张小水 张彤 杨卉 祈明锋 穆仁 范会涛 马晓康
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微气体传感器 非接触测温 热辐射 温度分布 三氧化二铟
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 1668-1671
• 分类号: TP212.2|TN219|O551.2
• 字数: 3173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.12.002

摘要

基于“相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同”这一原理,搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台.利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试,明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图.在此基础上,确定了In2 O3纳米纤维的最佳工作温度,研究了最佳工作温度下In2 O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性,验证了测温方法的有效性.该方法可进一步推广应用到其他微结构或者MEMS器件的表面温度的测量.