静电刚度式谐振微加速度计的结构设计和制造

• 作者: 何晓平 刘恒 张凤田 张富堂 苏伟
• 来源期刊: 重庆大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 静电刚度 模态分析 灵敏度
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 页码范围: 36-42
• 分类号: TN911.71
• 语种: 中文

摘要

基于静电刚度的谐振式微加速度计能通过加载电压来调节灵敏度,减少了灵敏度对结构工艺误差的依赖性。根据单梁谐振加速度计的动力学原理,确定了输出频率与各活动结构位移的非线性关系。对于输出频率与加速度的复杂非线性求解问题,提出在谐振梁刚度远大于折叠梁刚度条件下,可以有效的得到二者的解析关系式,为结构设计提供了约束条件。对于差分结构,推导了面内低阶模态方程,提出应减少音叉梁连接端的刚度系数来减少工艺误差造成的模态扰动误差。采用ICP干法体硅工艺,在很少的工艺步骤下能实现高深宽比结构的流片。实验测试发现结构完整可动,但存在同频干扰问题,提出了高频调制开关解调的信号处理办法。理论分析和实验测试为设计新型谐振式微加速度计提供了依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
3	张凤田	中国工程物理研究院电子工程研究所	9	35	3.0	5.0