太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究

• 作者: 宋晨辰 赵占霞 赵磊 马忠权 马晓敏
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 太阳电池 掺杂ZnO薄膜 抗腐蚀性能 透过率
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 887-891,897
• 分类号: O484
• 字数: 2963字
• 语种: 中文

摘要

用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性.利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO).用X射线衍射仪对样品的结构进行表征.结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移.用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强.在可见光范围内SZO薄膜透过率达85％以上,经3.5％的NaCl溶液腐蚀24h后薄膜透过率仍在80％以上.