一种提高薄膜体声波谐振器质量分辨率的主动控制方法

• 作者: 刘兴 印显方 温志渝 贺学锋 陈可万
• 来源期刊: 应用数学和力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 传感器 主动控制 阻抗 分辨率
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 702-709
• 分类号: O429
• 语种: 中文
• DOI: 10.3879/j.issn.1000-0887.2011.06.007

摘要

低浓度小分子检测对基于薄膜体声波谐振器的传感器的分辨率提出了较高要求，针对以上需求，提出一种提高薄膜体声波传感器分辨率的主动控制方法，即在谐振器的驱动电压上叠加一个反馈电压，该反馈电压是对通过谐振器的电流施加一个常数增益和一个常数相位差得到.反馈电压产生的声能部分地补偿了材料阻尼和声音散射引起的声能损失，进而提高了薄膜体声波传感器的品质因子和质量分辨率.忽略电极影响，基于连续介质理论得到了具有主动控制功能的薄膜体声波传感器阻抗的显式表达式.数值仿真结果表明，薄膜体声波传感器的阻抗强烈依赖于反馈电压相对于电流的增益和相位差，当采用适当的增益和相位差时，传感器的质量分辨率可以大幅提高.以上主动控制方法对提高石英晶体微天平的分辨率同样有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学微系统研究中心	143	1259	18.0	26.0
2	贺学锋	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	16	203	8.0	14.0
3	印显方	重庆大学微系统研究中心	4	62	2.0	4.0
4	刘兴	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	2	13	2.0	2.0
5	陈可万	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	2	10	2.0	2.0