收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试

• 作者: 李涛 熊叶胜 褚金奎 韩冰峰
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电源 压电悬臂梁 MEMS PZT
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TH117.2
• 字数: 3045字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.01.001

摘要

研制长寿稳定电源已经成为微型无线传感网络中亟待解决的关键技术问题,现有的化学电池容量有限,需要不断地逐个更换耗尽的电池,难以满足无线传感网络的实际应用.提出了利用压电材料的机电耦合特性收集环境振动能,设计了一种用来收集环境振动能的压电微悬臂梁结构,介绍了用MEMS工艺制作带质量块的硅基压电悬臂梁微电源的工艺流程.质量块可以降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.最后,对制作的微压电悬臂梁进行了固有频率测试以及静态和准静态标定实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李涛	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	50	324	9.0	17.0
2	褚金奎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	119	1260	20.0	30.0
3	韩冰峰	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	6	84	3.0	6.0
4	熊叶胜	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	2	75	2.0	2.0