高分辨405nm激光显微测量系统

• 作者: 刘佳 王翀 贺锋涛
• 来源期刊: 西北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 高分辨 405nm激光 显微测量
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 数理科学与信息科学
• 页码范围: 603-605,616
• 分类号: TH741.8
• 字数: 1637字
• 语种: 中文

摘要

目的 观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构.方法 采用405 nm激光作为显微测量系统的照明光源,以道间距为0.74μm的DVD-R盘片为标准时对激光显微测量系统进行标定,同时通过自编分析软件对CD-R盘片和DVD-R盘片进行了测量分析.结果 所研究405 nm激光显微测量系统是有较高的显微测量精度,同时是有实时采集、实时显示功能.结论 本系统较传统白光照明具有亮度高、色差小、测量精度高等优点,可用于观测微小样品和测量接近光学显微极限的微小结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺锋涛	西安邮电学院电子工程学院	44	273	8.0	14.0
2	刘佳	西安邮电学院电子工程学院	4	26	4.0	4.0
3	王翀	西安邮电学院电子工程学院	18	35	4.0	4.0