溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究

• 作者: 周曙 方晓东 董伟伟 邓赞红 邵景珍 陶汝华
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 材料 光电特性 溶胶凝胶法 钼掺杂氧化锌 透明导电氧化物
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 247-252
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2011.02.021

摘要

利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌(MZO)透明导电薄膜,研究了钼的掺杂量(0～1 at%)对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响.研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密.通过高温真空退火,MZO薄膜的电阻率明显降低.且随着钼含量的增加,MZO薄膜的电阻率呈现出先减小后增大的趋势,当钼含量为0.4at%时,获得最小电阻率为0.13 Ωcm.薄膜在近红外区域(800～2000 nm)的平均透过率大于85%,这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围.