纳米片状金刚石膜的生长过程

• 作者: 姚宁 安子凤 崔娜娜 张兵临 苏博 葛亚爽 鲁占灵
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米片状金刚石 生长过程 微波等离子化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 页码范围: 16-19
• 分类号: TQ164
• 字数: 1858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.06.004

摘要

采用微波等离子化学气相沉积系统( MPC VD)在镀钛的单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜.反应气体为CH4和H2,其流量比为1:1,微波功率为1 800 W,反应气压为10 kPa.利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱分析薄膜的形貌和碳结构.结果表明,纳米金刚石薄膜呈现片状的组织特征,其生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成由纳米碳颗粒组成的球状碳团簇；随着沉积时间的增加,碳团簇逐渐增大,纳米碳颗粒定向排列或自组装,最终形成片状纳米金刚石膜.